無蠟吸附墊(Template)

• 用途
  晶圓再生、矽晶圓、砷化鎵、碳化矽、藍寶石晶片、金屬、陶瓷、石英 吸附工件使用壽命長。
• 規格
  最大尺寸Φ600mm可配合客戶進行產品圖形設計、尺寸調整基材可區分絨毛基材與吸附墊基材依客戶需求提供。